精密仪器灭火使用二氧化碳灭火器。二氧化碳灭火器适用于扑灭图书，档案，贵重设备，精密仪器、600伏以下电气设备及油类的初起火灾，其具有流动性好、喷射率高、不腐蚀容器和不易变质等优良性能。

二氧化碳灭火剂主要依靠窒息作用和部分冷却作用灭火，价格低廉，获取、制备容易，是一种具有一百多年历史的灭火剂。

最常见的灭火器有五种：水基型灭火器、泡沫灭火器、干粉灭火器、卤代烷灭火器、二氧化碳灭火器。

二氧化碳灭火器不宜在室外刮大风时使用，在窄小和密闭的空间使用后，要及时通风或人员撤离现场，以防窒息。