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我国能制造光刻机吗

更新时间: 2020-10-30 00:00:00

我国能制造光刻机,当前中国肯定是有自己的能力生产光刻机的,只是技术确实跟人家有一定的差别。

光刻机又名:掩模对准曝光机,曝光系统,光刻系统等。常用的光刻机是掩膜对准光刻。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序。

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