在精馏中，精馏塔的填料的形式和大小，决定于要分离混合液的沸点差和要求的分离程度。但应用什么材料则和所精馏物质的性质有关。精馏非腐蚀性物质可用金属填料。至于有机卤化物，酸，酸酐和含硫化合物，酚或胺类，对金属填料或多或少有腐蚀作用，如醇类会腐蚀金属填料，这就需要用玻璃或其他惰性填料。

有些物质在精馏时易聚合，在填料表面形成一层包衣，所以最好用玻璃或惰性填料，以便精馏后用强烈试剂把它清洗掉。 此外，还应考虑被精馏的物质的热稳定性或化学稳定性。比如含羟基物质的聚合，裂解和脱水反应，被精馏组分间的的化学反应，或从仪器缝隙漏入的空气使被精馏物组分氧化而改变其成分等，均要注意。降低操作压力可减少以上这些因素的影响。然而压力降低，常使漏入的空气增加，所以要尽量减少精馏釜和精馏柱之间的接头，以减少空气漏入的的可能性。