在单一固相，气相，液相中进行的化学反应，即在反应过程中与其他物相没有物质交换的反应。固体均相反应是指在单一的固相中结构组元发生的局域重排过程。

例如：在镍铝尖晶石NiAl2O4中，镍和铝离子分别占据氧离子构成的四面体和八面体格位。在温度变化时，镍和铝离子在两种格位上的分布可以发生变化。这种离子格位的重排反应可以利用镍离子的光谱变化测定。在均相反应中，不存在原子或离子的长程运动和组合物相的体积也不发生改变。材料的很多相变过程，特别是二级相变过程属于均相反应。