先秦时期还没有地道的第三人称代词，“厥”“其”“之”三个都有指示代词功能，还没有完全从指示代词当中分化出来。在这三个词当中，“厥”和“其”是古今关系，在西周金文和时代较早的《尚书》《诗经》里“厥”用得较多，春秋以后逐渐被“其”所代替。这两个词在句子中只作领属性定语。

有时候它们作小句（主谓短语）的主语，实际上等于“名词+之”，还是处于领属定语的语法地位。

到汉魏以后，“其”才可以作主语和宾语。“之”只作宾语。

魏晋以后出现“渠”和“伊”。“渠”当是“其”字在当时的方言音变。

现代汉语所用的“他”在上古是旁指代词，东汉以后逐渐发展为第三人称代词。