系统技术是以微米量级内的设计和制造技术为基础，研究开发微传感器、微致动器以及信号处理和控制电路，直至接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。微系统可以完成大尺寸机电系统所不能完成的任务、智能化和可靠性提高到一个新的水平。预期未来微系统将是科技上举足轻重的新领域，具有广阔的应用前景，也可嵌入大尺寸系统中自动化。