硅粉对身体最大的危害是引起矽肺。由于长期大剂量吸入二氧化硅(Si02)粉尘所致。硅尘进入呼吸道，被肺巨噬细胞吞噬，释放出活性因子，刺激成纤维细胞合成更多的胶原。

硅粉(Microsilica或SilicaFume)，也叫微硅粉，学名"硅灰"，又叫硅灰，是工业电炉在高温熔炼工业硅及硅铁的过程中，随废气逸出的烟尘经特殊的捕集装置收集处理而成。学名"硅灰"，Microsilica或SilicaFume，是工业电炉在高温熔炼工业硅及硅铁的过程中，随废气逸出的烟尘经特殊的捕集装置收集处理而成。在逸出的烟尘中，SiO2含量约占烟尘总量的90%，颗粒度非常小，平均粒度几乎是纳米级别，故称为硅粉。