电极材料应选择导电性好、熔沸点较高、机械加工性能好的材料。例如：

1、铜：制成各种精密复杂电极，可用于中小型腔加工；

2、钨、钼：熔点和沸点较高，损耗少，但其机械加工性能不好，价格较贵，一般仅用于线切割；

3、铜碳、铜钨和银钨等合金材料：导热性好、熔点高、电极损耗少，但价格较贵、制造成型困难，通常只用于精密电火花加工。