经蒸发作用后产生的高温过氧化氢蒸汽不断的被发生器喷射出来，直至达到空间内过氧化氢蒸汽饱和状态，高温饱和过氧化氢蒸汽接触到较冷的被消毒物品表面会达到微冷凝状态，在各种微生物等表面形成微米级的包围层，过氧化氢分子会释放出强氧化性的自由基，对各种微生物进行杀灭，自由基可以对微生物达到有效的杀灭效果。