1、气垫运输，光刻机运输中需要保证全程加气垫，避免因为震动而使内部遭到破坏。

2、真空木箱打包，因为光刻机运输要保持全程恒温恒压，所以要使用真空木箱打包技术。

3、恒温气垫车运输，光刻机运输过程中，温度要保持在26度，湿度要保持在40度，因此要用特种运输车辆来运输。