SiO2是原子晶体，作为酸性氧化物，化学性质稳定，不和除HF以外所有常见无机酸反应。不能反应的物质中包括硫酸和硝酸。HF与SiO2能反应是由于Si有空的3d轨道，能于F-的孤对电子形成配位键，得到更稳定的SiF6(2-)离子。