自制去离子水的方法是自来水先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质。然后高压通过反渗透膜。最后一般还要经过紫外杀菌以去除水中的微生物。假如此时电阻率还没有达到要求的话，可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。相对而言，蒸馏水只是先气化再冷凝，其纯度如电阻率一般不如纯度高的去离子水，半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水。