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真空镀膜机光学原理

更新时间: 2020-09-21 00:00:00

真空镀膜机:主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原理:它由高压部分和自动复位部分组成。高压部分包括三相高压变压器,三相桥式整流,RC阻容吸收网络,高压分压器。自动复位部分包括主开关电路,电流检测电路,栅压切换电路,帘栅控制电路。

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