四氟化硅的水解产物是硅酸和氟化氢。

四氟化硅：无色刺激性气体，易潮解，在潮湿空气中可产生浓烟雾。熔点是零下90.2摄氏度，沸点是零下86摄氏度，易溶于乙醇、硝酸、氢氟酸，不溶于乙醚。其储存注意事项是储存于阴凉、通风的有毒气体专用库房。远离火种、热源。库温不宜超过30℃。应与酸类、食用化学品分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。