外资企业的设立程序包含以下：

1、签订合作意向书拟合作的中、外各方，通过初步谈判，签订拟合作项目意向书或协议书;

2、申请企业名称登外商投资企业在项目建议书批准之前，向市工商行政管理局申请企业名称登记;

3、审批项目建议书根据中外投资各方的合作项目意向书，由合作项目的中方编制项目建议书，报送审批。

【法律依据】

《中华人民共和国外资企业法》第九条外资企业应当在审查批准机关核准的期限内在中国境内投资;逾期不投资的，工商行政管理机关有权吊销营业执照。

工商行政管理机关对外资企业的投资情况进行检查和监督。