唯独：

1、具有在其他人中所不能找到的根本特点的；

2、排除任何他人或他物的，再没有别的人或别的东西的；

3、单单，只有。

惟独：单单。

古汉语虚词词典中：

唯，可用作副词、连词、助词，先秦时已有用例，后一直沿用于文言中，现代汉语书面语也使用。

惟，可用作副词、连词、助词，先秦已普遍使用，后一直沿用于文言中。

《说文》中对两个字的本意解释：

“唯，诺也。”

“惟，凡思也。”

在字的本意上，二者是有差别的“唯”表一种应答，“惟”表示思考。

像“唯唯诺诺”就不能用“惟”，而且作为副词时“惟”没有表示“应答”的意思。

而“惟妙惟肖”就不能用“唯” ，“唯”并不能完全取代“惟”，只是，在现代汉语中，用到只能使用“惟”的情况并不多。