包括：准确性、线性、稳定性、重复性与再现性。

准确性：多次测得的平均值与基准值之差。稳定性：主要指的是统计过程稳定性。线性：测量系统的线性是指在其量程范围内，偏倚应是基准值的线性函数。重复性：有一个操作者或者多个操作者，多次重复测量同一零件的同一特性的测量值的标准差。再现性：由不同操作者，多次重复测量同一零件的同一特性的均值的变差。