1、首先将待镀金属表面清洗干净；

2、然后用适合的挂具将金属固定在真空炉中，并在高真空环境中加热至200到500摄氏度；

3、再用电子枪对固体原料金属钛加热，钛的纯度要高达百分之九十九以上，使钛熔化并蒸发、离化；

4、同时在真空炉充入高纯氮气作为反应气体，氮气纯度要高达百分之九十九点九六，于是就可生成钛的氮化物，沉积在镀件表面上，即可完成金属表面的镀钛。