1、硅的氢化物是指含有硅元素和氢元素两种元素的化合物。硅的氢化物有硅烷、 乙硅烷等；

2、硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷、乙硅烷和一些高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。因其高纯度和能实现精细控制，已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体；

3、乙硅烷是一种无机化合物，在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温下会缓慢分解成硅烷和氢。