四氯化硅与氢气反应是粗硅提纯的最后一步，能生成硅和盐酸，四氯化硅为无色透明液体，无毒，纯度稍低的呈现微黄或者淡黄色，有窒息性气味，常温常压下密度1、48，沸点随着压力增高而增高，在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢，遇水时水解作用很激烈，也能和醇类起激烈反应，溶于四氯化碳、四氯化钛、四氯化锡，对皮肤有腐蚀性，用于制硅酸酯类、有机硅单体、有机硅油、高温绝缘漆、硅树脂、硅橡胶等，也用作烟幕剂，工业上大部分的制取由硅粉高温与氯化氢合成反应而得。